往復泵的一種,用彈性薄膜彈性金屬片將泵分隔成互不相通的兩部分,分別是被輸送液體和活柱存在的區域。這樣,活柱不與輸送的液體接觸。活柱的往復運動通過同側的介質傳遞到隔膜上,使隔膜亦作往復運動,從而實現被輸送液體經球形活門吸入和排出。